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微細構造解析分野

微細構造解析分野は、金属材料研究所および本学研究教育基盤技術センター百万ボルト電子顕微鏡室において対応します。ここでは原子レベルの分解能を有する透過電子顕微鏡や電子線・X線回折、そして種々の分光法を駆使することにより、軽量高強度材料、アモルファス・ナノ材料、半導体といった我々の社会に必要不可欠な材料の組織と構造を原子配列にまでさかのぼって解明することを目的としています。さらに構造・組織の解明だけではなく、それらがどのようにして形成されたかを速度論的見地から理解する努力も続けています。

支援内容

透過型電子顕微鏡を活用した微細構造解析を通じて、 ナノ物質材料の研究において必要不可欠な実空間での原子スケールの構造解明を支援します。また低加速走査型電子顕微鏡を用いたソフトマテリアル等の解析支援も可能です。具体的には、ナノ物質材料の研究者を対象として、収差補正型透過電子顕微鏡、 300kV電界放射型電子顕微鏡、電界放射型走査電子顕微鏡等を外部利用に供するとともに、試料作製・検鏡操作・画像解析等の補助・指導を行い、さらに実験結果に関しての専門的な議論を行います。

支援機器

No.
1-1
1-2
1-3
画像
装置名 高分解能・低加速電圧走査型電子顕微鏡(日立ハイテク/SU8000)
サブ・オングストローム
分解能分析透過電子顕微鏡(FEI-Company/
Titan80-300)
FIB集束イオンビーム加工装置 (FEI-Company
/Quanta 3D)
特徴 加速電圧:30kV-0.1kV 
試料のダメージを抑える低加速電圧観察 
STEMモード 
チャージアップ軽減装置付ステレオ撮影 
EDSマッピング分析
加速電圧:300kV/80kV
球面収差補正装置付 
高分解能TEM 
STEM観察 EDS分析EELS分析 3D解析
SEM/SIM観察 
デュアルビームFIB  SEM加速電圧:30kV 
試料ピックアップ:Omniprobe
No.
1-4
1-5
1-6
画像
装置名 FIB集束イオンビーム加工装置 (FEI-Company
/Versa 3D)
原子分解能・ 分析透過電子顕微鏡(JEOL/JEM-ARM200F) 透過電子顕微鏡
(JEOL/JEM-3010)
特徴 FE電子銃搭載 SEM/SIM観察 
デュアルビームFIB  SEM加速電圧:30kV
試料ピックアップ:EasyLift
Cold-FE電子銃搭載 
加速電圧:200kV/80kV 
照射系・結像系に球面収差補正装置付【ダブルコレクター】 
超高分解能TEM STEM観察
EDSおよびEELS分析
加速電圧:300kV 
LaB6電子銃 
高分解能仕様
CCDカメラ搭載 
TEM明視野/暗視野観察
電子線回折